Установка контроля герметичности поточных производств, УКГ-4П

Технические характеристики

При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач НПФ "Прогресс" предлагает варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации.



УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока.

Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами: 

способ вакуумной камеры;

способ обдува

Установка может дополнена устройством подготовки газовой смеси "УПГС" и выполнено в едином конструктиве УКГ-4П для удобства работы оператора.

Оператором программно может быть задействовано в работе нужное количество пеналов. Информация о работе установки и результат  контроля каждого пенала выводится на встроенный компьютер и отображается на цветном экране с сенсорным вводом. Стартом продолжения контроля последующего пенала является закрытие крышки загружаемого пенала. Отличительной особенностью установки является возможность управлять производительностью и чувствительностью. 

Производительность установки:

в высокочувствительном режиме - более 360 испытаний в час - чувствительность режима 1х10^-11 м^3Па/с.;

повышенная производительность - более 700 испытаний в час - чувствительность режима 5х10^-10 м^3Па/с..

Пеналы снабжены световой индикацией, при превышении установленного браковочного признака раздается звуковой сигнал.

Особенности:

чувствительность масс-спектрометрической ячейки - 5х10^-13 м^3Па/сек.;

возможность управления производительностью и чувствительностью;

темп работы (производительность) задается оператором;

автоматизация процессов;

настраиваемые алгоритмы ПО под конкретные задачи;

возможность изготовления пеналов любого размера по согласованию;

режим "пауза";

отсутствие кинематики (движущихся механических частей);

моноблочная вакуумная система;

отсутствие необходимости в смазке;

комбинация без масляных откачных агрегатов4

эргономика ориентирована на работу оператора сидя;

габаритные размеры 1100х1140х90 см.;

вес установки от 110 кг.;

потребляемая мощность 1,5 кВт.

Лицензии и сертификаты

Нет

Доставка и оплата